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| 沉积温度对类金刚石薄膜性能的影响 | |
| 作者单位： | ;1.陕西理工大学材料科学与工程学院 |
| 摘 要： | 液相法制备工艺简单、成本低等,已成为制备类金刚石薄膜的热点方法,但适合工业化生产的制备工艺参数尚不明确。以Si单晶为基底,通过液相沉积法在Si表面制备类金刚石薄膜,研究了沉积温度与其摩擦学性能之间的关系。结果表明:在40℃条件下制备的类金刚石薄膜表面光滑平整、硬度最高。此时类金刚石薄膜的干摩擦系数最小,耐磨性最强,具有良好的摩擦学性能。 |
| 关 键 词： | 类金刚石薄膜 液相法 摩擦学性能 沉积温度 |
Effect of deposition temperature on diamond-like carbon coatings performance |
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