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GaAs/GaAlAs双异质结脊型波导无间距方向耦合器
引用本文:王立军,武胜利. GaAs/GaAlAs双异质结脊型波导无间距方向耦合器[J]. 吉林大学学报(理学版), 1994, 0(1)
作者姓名:王立军  武胜利
作者单位:中国科学院长春物理研究所
摘    要:本文对具有金肖特基势垒电极的GaAs/GaAlAs双异质结脊型波导无间距方向耦合器进行了研究。通过合理设计器件结构,降低波导层中载流子浓度,适当控制脊高和包层中Al含量以及采用剥离掩膜,反应离子蚀刻等技术使器件总损耗降为12.2dB,串音达一25.9dB.

关 键 词:光开关,光耦合器,光调制

GaAs/GaAlAs Heterostructure Rib Waveguide Zero Gap Directional Coupler
Wang Lijun,Wu Shengli. GaAs/GaAlAs Heterostructure Rib Waveguide Zero Gap Directional Coupler[J]. Journal of Jilin University: Sci Ed, 1994, 0(1)
Authors:Wang Lijun  Wu Shengli
Abstract:
Keywords:optical modulation  optical coupler  optical switch  
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