| TiN/NbN纳米多层膜的微结构与超硬度效应 |
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| 引用本文： | 李戈扬,赖倩茜,虞晓江,顾明元. TiN/NbN纳米多层膜的微结构与超硬度效应[J]. 上海交通大学学报, 2002, 36(5): 730-732 |
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| 作者姓名： | 李戈扬 赖倩茜 虞晓江 顾明元 |
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| 作者单位： | 1. 上海交通大学,金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030;中国科学院,兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州,730000
2. 上海交通大学,金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030 |
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| 摘 要： | 采用反应溅射法制备了一系列不同调制周期的TiN/NbN纳米多层膜，并使用X射线衍射分析（XRD），透射电子显微镜（TEM）和显微硬度计表征了薄膜的调制结构，界面结构和显微硬度，结果表明：TiN/NbN多层膜具有周期性良好的调制结构，调制界面清晰、平面；薄膜呈现为多晶外延生长的面心立方结构；薄膜硬度出现异常升高的超硬度效应，并在调制周期为8.3nm左右达到硬度峰值（HK39.0GPa）。
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| 关 键 词： | TiN／NbN纳米多层膜 调制结构 超硬度效应 |
| 文章编号： | 1006-2467(2002)05-0730-03 |
| 修稿时间： | 2001-06-29 |
Microstructure and Superhardness of TiN/NbN Nano-Multilayers |
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| LI Ge yang ,,LAI Qian xi ,YU Xiao jiang ,GU Ming yuan. Microstructure and Superhardness of TiN/NbN Nano-Multilayers[J]. Journal of Shanghai Jiaotong University, 2002, 36(5): 730-732 |
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| Authors: | LI Ge yang LAI Qian xi YU Xiao jiang GU Ming yuan |
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| Affiliation: | LI Ge yang 1,2,LAI Qian xi 1,YU Xiao jiang 1,GU Ming yuan 1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TiN/NbN multilayers modulation structure superhardness |
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