| 切角方柱压电超声微电机的研制 |
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| 引用本文： | 刘涛,陈宇,路凯,周铁英. 切角方柱压电超声微电机的研制[J]. 清华大学学报(自然科学版), 2008, 48(8) |
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| 作者姓名： | 刘涛 陈宇 路凯 周铁英 |
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| 作者单位： | 清华大学,物理系,北京,100084;清华大学,物理系,北京,100084;清华大学,物理系,北京,100084;清华大学,物理系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 为了减小超声微电机的尺寸、简化加工工艺,研制了0.8 mm切角方柱压电超声微电机,并对它进行了稳定性讨论和有限元仿真.压电方柱断面的极化电场分布不均匀,考虑极化电压对压电常数的影响,通过有限元数值仿真,优化计算得到了最优切角.当驱动电压峰峰值为65 V时,样机的无载转速为2 460 r/min, 堵转力矩为3.5 μNm.该电机已用于光学相干断层扫描内窥镜系统中,对鸡食道进行离体成像,其横向分辨率为30 μm.
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| 关 键 词： | 超声微电机 光学相干断层扫描 内窥镜系统 有限元分析 |
Cubic micro-ultrasonic motor with truncated edge |
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| LIU Tao,CHEN Yu,LU Kai,ZHOU Tieying. Cubic micro-ultrasonic motor with truncated edge[J]. Journal of Tsinghua University(Science and Technology), 2008, 48(8) |
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| Authors: | LIU Tao CHEN Yu LU Kai ZHOU Tieying |
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