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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
Si上Bi
2
Sr
2
Ca
1
Cu
2
O
7-x
超导膜分形现象的AFM观察
作者姓名:
刘融
钱文生
魏同立
作者单位:
东南大学微电子中心!南京210096
摘 要:
利用射频磁控溅射方法,在Si衬底上用YSZ(Y稳定的ZrO_2)作为缓冲层成功地淀积了Bi_2Sr_2Ca_1Cu_2O_(7-x)(BSCCO)超导膜,其零电阻温度T_c=82K.在利用原子力显微镜(AFM)和透射电子显微镜(TEM)作材料的表面形貌和微结构观察分析时,首次在BSCCO超导膜中观察到了分形晶化,并测得其分形维数d=1.795,本文报道了这一观察结果.
关 键 词:
分形 BSCCO 薄膜 超导体 硅 AFM
收稿时间:
1996-06-17
修稿时间:
1996-09-06
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