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3D ADI-FDTD算法在分析微结构时的数值色散
引用本文:吴银锋,万江文,冯仁剑.3D ADI-FDTD算法在分析微结构时的数值色散[J].系统仿真学报,2009,21(13).
作者姓名:吴银锋  万江文  冯仁剑
作者单位:北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京,100191
基金项目:北京市自然科学基金资助,教育部新世纪优秀人才支持计划资助,北航青年创新基金
摘    要:利用三维无条件稳定交替方向隐式有限差分(ADI-FDTD)算法分析射频微机电器件时,为了保证仿真精度和提高计算效率,需要掌握微尺度条件下算法的数值色散特性.利用算法增长矩阵,讨论了多种因素对算法数值色散特性的影响.给出了分析微结构电磁特性时各参数的基本选取原则:空间导数取二阶差分;网格划分的深宽比小于50;取扫描频段内的中高频率点作为计算空间抽样率的参考点;ADI-FDTD算法的时间步长极限为T/2,时间步长的选择应满足时间抽样率与空间抽样率之比小于1.

关 键 词:ADI-FDTD  数值色散  微结构  射频微系统

Numerical Dispersion Analysis of 3D ADI-FDTD for Micro-scale Structures
Abstract:
Keywords:ADI-FDTD  numerical dispersion  micro-scale structures  RF MEMS
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