| Ta种子层厚度及溅射速率对Ta/Ni65Co35双层膜各向异性磁电阻和矫顽力的影响 |
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| 引用本文： | 张辉,滕蛟,马纪东,于广华,胡强. Ta种子层厚度及溅射速率对Ta/Ni65Co35双层膜各向异性磁电阻和矫顽力的影响[J]. 北京科技大学学报, 2005, 27(4): 458-461 |
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| 作者姓名： | 张辉 滕蛟 马纪东 于广华 胡强 |
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| 作者单位： | 1. 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083;中国科学院物理研究所,北京,100080
2. 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 高等学校博士学科点专项科研项目 , 教育部科学技术研究重点项目 |
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| 摘 要： | 研究了Ta种子层的厚度、溅射速率对Ta/Ni65Co35双层膜各向异性磁电阻值(△p/p)、矫顽力和织构的影响.研究表明,适当的Ta层厚度和较高的Ta层溅射速率对提高Ta/Ni65Co35双层膜的△p/p是有效的.Ta种子层的使用增大了Ta/Ni65Co35双层膜的矫顽力而其溅射速率对Ta/Ni65Co35双层膜矫顽力的影响很小.
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| 关 键 词： | Ta种子层 溅射速率 各相异性磁电阻 矫顽力 (111)织构 种子层 层厚度 溅射速率 双层膜 各向异性磁电阻 矫顽力 影响 coercivity anisotropic magnetoresistance seed layer deposition rate thickness 使用 电阻值 研究 |
| 收稿时间： | 2004-05-10 |
| 修稿时间： | 2005-09-10 |
Effects of the thickness and deposition rate of Ta seed layer on the anisotropic magnetoresistance and coercivity of Ta/Ni65Co35 bilayers |
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| ZHANG Hui,TENG Jiao,MA Jidong,YU Guanghua,HU Qiang. Effects of the thickness and deposition rate of Ta seed layer on the anisotropic magnetoresistance and coercivity of Ta/Ni65Co35 bilayers[J]. Journal of University of Science and Technology Beijing, 2005, 27(4): 458-461 |
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| Authors: | ZHANG Hui TENG Jiao MA Jidong YU Guanghua HU Qiang |
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| Abstract: | The effects of the thickness and deposition rate of Ta seed layer on the anisotropic magnetoresistance (AMR) and coercivity of Ta/Ni65Co35 bilayers were investigated. The results showed that Ap/p of Ta/Ni65Co35 bilayers could be improved at a certain thickness or higher deposition rate. The coercivity of Ta/Ni65Co35 films increased with the use of Ta seed layer. But the effect of the deposition rate on the coercivity of Ta/Ni65Co35 films was not significant. |
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| Keywords: | Ta seed layer deposition rate anisotropic magnetoresistance coercivity (111) texture |
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