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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
一种简单的金刚石薄膜场致发射器件
作者姓名:
李运钧()()
何金田()
姚宁()
张兵临()
龚知本()
作者单位:
郑州大学物理系及河南省基础及应用科学研究所!郑州450052,中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥230031,郑州大学物理系及河南省基础及应用科学研究所!郑州450052,郑州大学物理系及河南省基础及应用科学研究所!郑州450052,郑州大学物理系及河南省基础及应用科学研究所!郑州45
摘 要:
随着半导体工艺在真空微电子学中的广泛应用,场致发射平板显示技术得到迅速发展。利用场致发射冷阴极制备的平板显示器件及象素发光管,具有功耗低、体积小和亮度高的特点,在乎板显示和大屏幕显示方面,具有很强的竞争力。金刚石薄膜和类金刚石薄膜具有较低的起始发射电场和较高的电流密度,其作为新型冷阴极在平板显示中的应用引起国内外的极大关注,被认为是较好的场致发射材料。
关 键 词:
金刚石薄膜 场致发射发光管 场致发射器件
收稿时间:
1996-03-11
修稿时间:
1996-09-04
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