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| 电子束辐照下钛酸锶钡薄膜的子能量损失谱研究 | |
| 引用本文： | 饶杰,朱静.电子束辐照下钛酸锶钡薄膜的子能量损失谱研究[J].中国科学(E辑),2004(9). |
| 作者姓名： | 饶杰 朱静 |
| 作者单位： | 清华大学材料科学与工程研究院电子显微镜实验室，清华大学材料科学与工程研究院电子显微镜实验室 北京 100084，北京 100084 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家973项目，清华大学985项目资助 |
| 摘 要： | 实验发现在较高电流密度的电子束照射下(电流密度约为2nA/cm2),BST薄膜有辐照损伤现象发生.原位实时记录的Ti和O的电子能量损失电离边峰强度比和相对位移的变化表明:损伤过程主要表现为薄膜失氧及其导致的正离子化学价态的变化.具高空间分辨的电子能量损失谱研究证明:相对于具有完整晶体结构的柱状晶晶粒内部,有着特殊结构和化学环境的柱状晶晶粒边界是失氧的主要途径. |
| 关 键 词： | 钛酸锶钡薄膜 辐照损伤 电子能量损失谱 |
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