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美开发出热蘸笔纳朱光刻技术
摘 要:
据美国物理学家组织网2011年11月7日报道,美国科学家首次厘清了温度在蘸笔纳米光刻技术中的作用,据此研制出的热蘸笔纳米光刻技术能在物质表面构造大小为20纳米的结构。
关 键 词:
纳米光刻技术
美国科学家
开发
物理学家
表面构造
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