| Zr基非晶合金超塑性成形工艺研究 |
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| 引用本文： | 廖广兰,王俊,喻强,朱志靖.Zr基非晶合金超塑性成形工艺研究[J].华中科技大学学报(自然科学版),2011,39(12):29-32. |
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| 作者姓名： | 廖广兰 王俊 喻强 朱志靖 |
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| 作者单位： | 华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室,湖北武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划资助项目(2009CB724204);国家自然科学基金资助项目(50805061,50975106) |
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| 摘 要： | 采用感应耦合等离子体刻蚀工艺制备了微型硅模具,基于硅模具研究了非晶合金Zr41.25Ti13.75Ni10Cu12.5Be22.5的超塑性微零件成形工艺.采用差示扫描量热仪测定了Zr41.25Ti13.75Ni10Cu12.5Be22.5的过冷液相区间为360～440℃,在过冷液相区间热压成形非晶合金微零件、机械研磨去除零件飞边和采用40%的KOH溶液腐蚀去除硅模具,得到非晶合金微型零件.自主研制了成形设备,仿真分析与实验相结合,解决了成形过程中设备的温度控制问题,比较分析了不同温度下的成形结果,实验与仿真结果符合较好.在410℃条件下成功制备出模数0.03、齿数66和厚度500μm的微型内齿轮,齿形轮廓清晰,X射线衍射仪扫描结果显示该微齿轮为非晶结构,从而验证了采用该工艺制备微型零件的可行性.
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| 关 键 词： | 非晶合金 超塑性 成形工艺 硅模具 温度控制 |
Super-plastic forming process of Zr-based bulk metallic glass |
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| Liao Guanglan Wang Jun Yu Qiang Zhu Zhijing.Super-plastic forming process of Zr-based bulk metallic glass[J].JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE,2011,39(12):29-32. |
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| Authors: | Liao Guanglan Wang Jun Yu Qiang Zhu Zhijing |
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| Institution: | Liao Guanglan Wang Jun Yu Qiang Zhu Zhijing(State Key Laboratory of Digital Manufacturing Equipment and Technology, Huazhong University of Science and Technology,Wuhan 430074,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | bulk metallic glass super-plastic forming process silicon mold temperature control |
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