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| 表面涂层的制备工艺与测试技术 | |
| 引用本文： | 杨玫,王立华.表面涂层的制备工艺与测试技术[J].武汉科技大学学报(自然科学版),2003,26(3):241-244,261. |
| 作者姓名： | 杨玫 王立华 |
| 作者单位： | 1. 国防科技大学,湖南,长沙,410205 2. 武汉科技大学,湖北,武汉,430081 |
| 摘 要： | 表面涂层技术能够改变材料及其制件表面成分和组织结构，获得性能优异的表面薄层，因而广泛应用于各行业。目前普遍采用的制备工艺是PVD和CVD技术。比较研究这两种技术及其改进方法，并分析膜厚检测、薄膜成分和结构以及力学性能等测试技术。 |
| 关 键 词： | 表面涂层 制备工艺 测试技术 |
| 文章编号： | 1672-3090(2003)03-0241-05 |
Techniques for Preparation and Testing of Surface Coating |
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| Abstract: | |
| Keywords: | surface coating preparation techniquee testing technique |
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