利用加工表面散射场频谱信息测试表面粗糙度

从理论上对车、镗、铣、刨等加工工件表面光散射场的空间频谱和功率谱与表面粗糙度评定参数Ｒｚ和Ｓｍ的关系进行了讨论，经过实验研究，提出了一种利用２Ｄ－ＣＣＤ提取谱图信号，经过电子二次电子处理给出清晰谱线，由此确定Ｒｚ与Ｓｍ的方法。