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| 光电-静电复合驱动MEMS悬臂梁挠度分析 | |
| 引用本文： | 唐玉娟,陈昱松,王新杰,乔锟.光电-静电复合驱动MEMS悬臂梁挠度分析[J].南京理工大学学报(自然科学版),2022(2):150-155. |
| 作者姓名： | 唐玉娟 陈昱松 王新杰 乔锟 |
| 摘 要： | 针对P LZT陶瓷光致形变直接驱动响应速度较慢的问题,提出了一种光电-静电复合驱动MEMS悬臂梁的新型驱动方式.阐述了光电-静电驱动悬臂梁的驱动机理,并建立了光电-静电驱动悬臂梁的静态模型;利用平行板电容器原理,推导出光电-静电复合驱动悬臂梁的挠度与静电力之间的微分方程,并得到悬臂梁自由端挠度的解析表达式;建立了光电-... |
| 关 键 词： | P LZT陶瓷 悬臂梁 光电-静电复合驱动 挠度分析 数学模型 |