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| 基于智能感知的InxAl1-xN薄膜的气敏性能研究 | |
| 作者姓名： | 王雪文 白海庭 赵彦博 张圆梦 彭超 高洁 戴扬 赵武 |
| 摘 要： | 基于Ⅲ-Ⅴ族半导体的产品已经广泛应用于移动设备、无线网络、卫星通信和光电子技术领域,其中,新型的Ⅲ-Ⅴ族半导体铟铝氮(InxAl1-xN(x=0 ～1))因为具有临界击穿电压高、导热系数高、能抵抗强辐射以及化学性质稳定等优点而成为感知器件的研究热点.该文首先采用磁控溅射技术以金属In、金属Al和陶瓷Si3N4为靶材制备... |
| 关 键 词： | 硅掺杂 InxAl1-xN薄膜 磁控溅射 气敏性能 |