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| 脉冲激光沉积大面积高温超导氧化物薄膜 | |
| 作者姓名： | 许世发 |
| 作者单位： | 中国科学院物理研究所 北京100080(许世发，田永君，吕惠宾，崔大复，陈正豪，周岳亮，李林)，中国科学院物理研究所 北京100080(杨国桢) |
| 基金项目： | 国家超导研究和发展开发中心基金资助项目 |
| 摘 要： | 高温超导体在各领域的应用越来越受到人们的重视,特别是在微电子学、微波器件和磁测量等方面比如延迟线、滤波器、超导天线、超导量子干涉仪(SQUID)已进入实用化阶段.制作这些器件不仅要求超导体为大面积的薄膜,而且要求膜的厚度以及超导特性(零电阻温度,临界电流密度,表面电阻等)具有很好的均匀性.虽然目前制备高T_c氧化物薄膜的方法很多,脉冲激光沉积(pulsed laser deposition)、磁控溅射(magnetron-spuffering),金属有机化学气 |
| 关 键 词： | 激光沉积 薄膜 氧化物 超导体 高Tc |
| 收稿时间： | 1993-08-30 |
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