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Si1-ZGeZ基区杂质和Ge组份分布对HBT基区渡越时间的影响
引用本文:张万荣,曾峥,罗晋生,西安交通大学. Si1-ZGeZ基区杂质和Ge组份分布对HBT基区渡越时间的影响[J]. 西安交通大学学报, 1996, 0(8)
作者姓名:张万荣  曾峥  罗晋生  西安交通大学
作者单位:Xian Jiaotong University,710049,Xian
基金项目:国家教委博士点基金资助项目
摘    要:在Si1-ZGeZ基区HBT中,Ge组份Z缓变(进而能隙缓变)产生自建电场,基区杂质浓度向发射极侧的减小产生了阻滞电场,基区杂质浓度向集电极侧的减小产生了加速电场.文中研究了这些电场对基区渡越时间的影响.研究结果表明,随基区发射极侧杂质浓度的不同,因阻滞电场而产生的延迟时间占基区总渡越时间的40%~80%.同时还发现,选用无阻滞电场产生的基区杂质分布,采用大的Ge组份线性缓变和利用集电结空间电荷区电子速度过冲效应,可望得到截止频率大于100GHz的Si1-ZGeZ基区HBT

关 键 词:异质结双极晶体管(HBT)  基区渡越时间  应变层

EFFECTS OF DOPING AND Ge FRACTION PROFILE IN THE Si 1-Z Ge Z BASE ON THE BASE TRANSIT TIME OF HBTs
Zhang Wanrong Zeng Zheng Luo Jinsheng. EFFECTS OF DOPING AND Ge FRACTION PROFILE IN THE Si 1-Z Ge Z BASE ON THE BASE TRANSIT TIME OF HBTs[J]. Journal of Xi'an Jiaotong University, 1996, 0(8)
Authors:Zhang Wanrong Zeng Zheng Luo Jinsheng
Abstract:
Keywords:heterojunction bipolar transistor(HBT) base transit time SiGe strained layer  
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