| MEMS技术在微型热泵中的应用 |
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| 引用本文： | 钟晓晖,周树光,翟玉玲.MEMS技术在微型热泵中的应用[J].河北理工大学学报（自然科学版）,2010,32(3). |
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| 作者姓名： | 钟晓晖 周树光 翟玉玲 |
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| 作者单位： | 河北理工大学,冶金与能源学院,河北,唐山,063009 |
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| 基金项目： | 唐山市科学技术研究与发展计划项目:09110204a |
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| 摘 要： | 微型热泵是指特征尺寸为"厘米级"的热泵,可用于建筑物、交通工具、衣服或其它装置的供暖或制冷.微电子机械系统(MEMS)的迅速发展,使过程机械装置的微型化和轻量化成为可能,将MEMS技术应用于热泵,其体积和传统装置相比可以缩小到60倍以上.对几种微制造技术进行了比较,并介绍了MEMS技术在微型热泵中的应用.
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| 关 键 词： | MEMS技术 微型热泵 微细加工技术 微型化 |
Applications of MEMS Technologies in Micro Heat Pump System |
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| ZHONG Xiao-hui,ZHOU Shu-guang,ZHAI Yu-ling.Applications of MEMS Technologies in Micro Heat Pump System[J].Journal of Hebei Institute of Technology(Natural Science Edition),2010,32(3). |
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| Authors: | ZHONG Xiao-hui ZHOU Shu-guang ZHAI Yu-ling |
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