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| 浅谈增强磁控镀膜靶材利用率 | |
| 引用本文： | 孟怡敏,张珮珮,李静.浅谈增强磁控镀膜靶材利用率[J].科技信息,2010(17):J0027-J0027,J0024. |
| 作者姓名： | 孟怡敏 张珮珮 李静 |
| 作者单位： | [1]洛玻集团洛阳新晶润工程玻璃有限公司,河南洛阳471003 [2]中铝洛铜管棒厂,河南洛阳471003 |
| 摘 要： | 本文根据进口磁控镀膜玻璃生产线使用、维护经验,详细论述了通过调整阴极靶材磁场,如何有效增强靶材利用率。 |
| 关 键 词： | 靶材 利用率 磁控溅射 磁场 |
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