| 精密金属零件非ODS清洗技术研究 |
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| 引用本文： | 刘建强,李玉香,肖洪地,刘万里,曹宝成,马洪磊. 精密金属零件非ODS清洗技术研究[J]. 山东大学学报(理学版), 2004, 39(3): 69-71 |
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| 作者姓名： | 刘建强 李玉香 肖洪地 刘万里 曹宝成 马洪磊 |
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| 作者单位： | 1. 山东大学物理与微电子学院,山东,济南,250100;国家电子元器件清洗技术研究推广中心,山东,济南,250100
2. 石家庄宝石电子集团元件厂,河北,石家庄,050031 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60176032)，山东大学跨学科预研基金资助项目，山东大学青年科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 由于精密金属零件表面洁净度要求很高，目前一般采用ODS溶剂清洗．介绍了一种非ODS清洗技术，并利用X射线光电子谱等测试方法，分别比较用两种清洗技术清洗过的金属零件表面，结果表明新型清洗技术优于传统ODS清洗技术．
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| 关 键 词： | 精密金属零件 非ODS 清洗技术 X射线光电子谱 |
| 文章编号： | 1671-9352(2004)03-0069-03 |
| 修稿时间： | 2003-12-08 |
Study on non-ODS cleaning technology of the precision metal detail |
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| LIU Jian-qiang,LI Yu-xiang,XIAO Hong-di,LIU Wan-li,CAO Bao-cheng , MA Hong-lei. Study on non-ODS cleaning technology of the precision metal detail[J]. Journal of Shandong University, 2004, 39(3): 69-71 |
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| Authors: | LIU Jian-qiang LI Yu-xiang XIAO Hong-di LIU Wan-li CAO Bao-cheng & MA Hong-lei |
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| Abstract: | The precision metal detail must be cleaned with ODS because the demand of its surface cleanliness is very high. A new non-ODS cleaning technique is reported. The cleaning effects with two techniques are compared with each other including the metal surface that is observed by X-ray photoelectron spectra. The results show that the non-ODS cleaning technique is better than the traditional ODS cleaning technique. |
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| Keywords: | precision metal detail Non-ODS cleaning technology XPS |
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