标准漏孔的校准

本文讨论了标准漏孔的校准方法，介绍了一台可供原始标准漏孔校准的真空系统的 设计，导出了量测误差的公式，并进行了量测误差的分析。根据大中给出的一组曲线， 可综合考虑被校漏孔的漏量，量测精度、量测真空度的选择和所需量测时间的关系。 对于１０－６－１０－７ 毫升／秒量级的漏孔，漏量校准值的误差可低于 １０％，因此可以 在此范围内进行原始标准漏孔的研究。