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集成补偿式气敏元件的敏感特性
作者姓名:卢革宇 闫卫平
摘    要:用γ-Fe2O3和LaFeO3作为补偿材料制作了集成补偿式气敏元件。气敏特性的测试结果表明,集成元件的特性与补偿材料、工作条件密切相关。

关 键 词:气敏元件 补偿法 集成化
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