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| GaAs／GaAlAs双异质结脊型波导无间距方向耦合器 | |
| 引用本文： | 王立军 Sala.,RP.GaAs／GaAlAs双异质结脊型波导无间距方向耦合器[J].吉林大学自然科学学报,1994(1):49-51. |
| 作者姓名： | 王立军 Sala. RP |
| 摘 要： | 本文对具有金肖特基势垒电极的ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ双异质结脊型波导无间距方向耦合器进行了研究。通过合理设计器件结构，降低波导层中载流子浓度，适当控制脊高和包层中Ａｌ含量以及采用剥离掩膜，反应离子蚀刻等技术使器件总损耗降为１２．２ｄＢ，串音达－２５．９ｄＢ。 |
| 关 键 词： | 光耦合器 GaAs／GaAlAs |
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