| 用于微区阻抗测量的STM探针的制备 |
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| 引用本文： | 吴迪,丁喜冬,杨森,张进修.用于微区阻抗测量的STM探针的制备[J].中山大学学报(自然科学版),2005,44(2):170-173. |
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| 作者姓名： | 吴迪 丁喜冬 杨森 张进修 |
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| 作者单位： | 中山大学物理学系,广东广州510275 |
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| 基金项目： | 广东省纳米重大专项基金资助项目（01-09080-4202372）;广州市科技攻关资助项目（2003Z2-D2021）.感谢南京大学朱劲松教授提供BaTi03薄膜样品.感谢中山大学测试中心提供SEM测试. |
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| 摘 要： | 基于扫描隧道显微镜（scanning tunneling micmscope，STM）的新型扫描阻抗显微镜（scarming impedance microscope，SIM）可以对绝缘电介质表而的阻抗性质进行测量，但由于传统STM针尖不适用于这种模式，需要制备新型的探针。介绍了利用电化学腐蚀法制备SIM针尖的工艺，研究了制备过程中各种条件的控制对针尖质量的影响。根据实验结果，对切断时问的控制效果提出了与以往经验不同的看法。最后通过实验分析了适用于阻抗性质扫描的针尖特点，认为适用于阻抗扫描的针尖其曲率半径应在100～200nm之间，且具有小的纵横比和一级新月结构。
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| 关 键 词： | 电化学腐蚀 扫描阻抗显微镜（SIM） 探针 扫描隧道显微镜（STM） |
| 收稿时间： | 09 12 2005 12:00AM |
Preparation of Tips for Measuring Impedance in Micro-area with STM |
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| WU Di , DING Xi-dong , YANG Sen, ZHANG Jin-xiu.Preparation of Tips for Measuring Impedance in Micro-area with STM[J].Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni,2005,44(2):170-173. |
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| Authors: | WU Di DING Xi-dong YANG Sen ZHANG Jin-xiu |
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| Institution: | Department of Physics, Sun Yat-sen University, Guangzhou 510275, China |
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