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| 主入射角椭偏法测硅片膜厚和折射率 | |
| 作者姓名： | 徐建良 罗晋生 张正立 |
| 作者单位： | 西安交通大学电子工程系(徐建良，罗晋生)，西安交通大学电子工程系(张正立) |
| 摘 要： | 本文包括四部分内容:(一)描述了主入射角椭偏仪的实验理论,(二)对主入射角椭偏法的原路返回型椭偏仪进行了描述,这种椭偏仪无需补偿器(λ/4波长片),便于测椭偏谱,(三)计算了硅片上各种膜的(ρp,Ψ)对(n~1,d)的理论曲线,(四)进行了φp—tgφ法与⊿—tgΨ法测薄膜的实验比较. |
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