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| 软金属压力接触快速C-V特性测量 | |
| 引用本文： | 潘正达 ,易新建 ,沈能芳 ,刘平秀 ,郑银姣.软金属压力接触快速C-V特性测量[J].华中科技大学学报(自然科学版),1980(Z3). |
| 作者姓名： | 潘正达 易新建 沈能芳 刘平秀 郑银姣 |
| 摘 要： | 本文讨论了In、Sn等金属作为电极进行压力接触MOS C—V测试的原理和方法,证明了氧化试片不进行背面腐蚀也能可靠地测量C—V特性.用这种方法,氧化试片出炉后只经过二十分钟的测试,即可得出介质膜中电荷密度等参数. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |