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| 粉末溅射SnO2：Pt薄膜及SnO2／SnO2：Pt薄膜电导在CO中的振荡现象 | |
| 引用本文： | 刘文利,李蕾.粉末溅射SnO2：Pt薄膜及SnO2／SnO2：Pt薄膜电导在CO中的振荡现象[J].山东大学学报(自然科学版),2000,35(4):437-441. |
| 作者姓名： | 刘文利 李蕾 |
| 作者单位： | [1]山东工业大学 [2]理系,山东济南 |
| 摘 要： | 采用粉末溅射方法制备了体掺杂型ＳｎＯ２：Ｐｔ薄膜和ＳｎＯ２／ＳｎＯ２：Ｐｔ双层膜，这两种薄膜材料不仅对ＣＯ气体有很高的灵敏度，良好的选择性和较低的工作温度，而且其电导在ＣＯ气体中均出现了振荡现象，本分析了电导振荡温区、振幅和频率与ＣＯ气体浓度及膜厚的关系，介绍了其振荡特性并对有关问题进行了讨论。 |
| 关 键 词： | 气敏器件 粉末溅射 薄膜 振荡 半导体材料 电导 |
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