强流重离子双等离子体离子源—兼论源的输出流强对离子质量依赖关系的实验验证 |
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作者姓名: | 孙别和 陈勤 王福临 |
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摘 要: | 本文给出了利用双等离子体离子源产生氦(He),氮(N_2),氧(O_2),氖氦混合(78%Nc+22%He)和氩(Ar)等离子的实经结果.当孤流为5A,引出电压力20KV 时,可给出59mA 的氖离子流,48mA 的氮离子流,35mA 的氧离子流,41mA 的氖氦混合离子流和22mA 的氩离子流.在源引出系统的几何参数和源的工作参数保持不变的条件下,实验验证了源的输出流强对离子质量的依赖关系,即(?).
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