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| 关于硅中硼磷扩散的微观机理的讨论 | |
| 引用本文： | 邓长吉.关于硅中硼磷扩散的微观机理的讨论[J].上饶师范学院学报,1988(2). |
| 作者姓名： | 邓长吉 |
| 作者单位： | 上饶市经济委员会 |
| 摘 要： | 本文从硅中硼磷扩散的宏观特性出发,介绍近几年来为解释这种扩散的宏观特性而提出的几种扩散机理模型,并对此作初浅的讨论。 |
| 关 键 词： | 扩散 微观机理模型 磷-空位对 硅自填隙原子 空位机理 填隙机理 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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