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钛酸铋系铁电薄膜的制备及研究进展
引用本文:张未涛,孙宏丽,闫正,张子生,赵庆勋,刘保亭.钛酸铋系铁电薄膜的制备及研究进展[J].河北大学学报(自然科学版),2006,26(2):219-224.
作者姓名:张未涛  孙宏丽  闫正  张子生  赵庆勋  刘保亭
作者单位:1. 河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002
2. 河北大学,化学与环境科学学院,河北,保定,071002
基金项目:河北省教育厅基金资助项目(2005213),河北省自然科学基金资助项目(E2005000130),国家人事部留学人员择优资助项目(G05-06),河北大学人才引进博士基金资助项目(B0406030)
摘    要:随着薄膜制备技术以及微电子集成技术的发展,钛酸铋系铁电材料在非易失性铁电随机存储器的应用方面已经展现了极其诱人的发展前景.介绍了无铅钛酸铋系铁电薄膜的研究现状,对目前钛酸铋薄膜最常用的几种主要的制备方法进行了评述,指出了钛酸铋研究中亟待解决的几个问题.

关 键 词:钛酸铋  薄膜制备  研究进展
文章编号:1000-1565(2006)02-0219-06
修稿时间:2005年7月6日

Preparation and Research Progress of Bismuth Titanate Series Ferroelectric Thin Films
ZHANG Wei-tao,SUN Hong-li,YAN Zheng,ZHANG Zi-sheng,ZHAO Qing-xun,LIU Bao-ting.Preparation and Research Progress of Bismuth Titanate Series Ferroelectric Thin Films[J].Journal of Hebei University (Natural Science Edition),2006,26(2):219-224.
Authors:ZHANG Wei-tao  SUN Hong-li  YAN Zheng  ZHANG Zi-sheng  ZHAO Qing-xun  LIU Bao-ting
Abstract:Bismuth titanate ferroelectric material has emerged as a promising candidate for nonvolatile ferroelectric random access memory applications with the development of the thin films fabrication and the microelectionic intergration.The research progress of lead-free bismuth titanate series ferroeletric films was introduced,some main preparation methods were summarized in detail at present.The challenge for bismuth titanate ferroelectric thin films was pointed out.
Keywords:bismuth titanate  film preparation  research progress
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