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厚膜ZrO2氧敏元件的制备及特性研究
引用本文:丁铁柱,李蓉萍.厚膜ZrO2氧敏元件的制备及特性研究[J].内蒙古大学学报(自然科学版),1994,25(3):273-276.
作者姓名:丁铁柱  李蓉萍
摘    要:本文报道了一种厚膜型ZrO_2氧敏元件的制备工艺,研究了该元件的氧敏特性及稳定性.实验发现,该工艺制备的氧敏元件,对氧气具有较高的灵敏度和很好的选择性,且比较稳定.

关 键 词:厚膜  氧敏  二氧化锆  传感器

Preparation and Characters of the Thick-filmZrO_2 Oxygen Sensor
Ding Tiezhu Li Rongping Ji Binghou.Preparation and Characters of the Thick-filmZrO_2 Oxygen Sensor[J].Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Neimongol,1994,25(3):273-276.
Authors:Ding Tiezhu Li Rongping Ji Binghou
Institution:Department of Physics
Abstract:n this paper,the preparation of the ZrO_2 thick-film Oxygen sensors is reported. The sensitivecharacters and the stability of the thick-film ZrO_2 are studied. The experimental results indicatethat the thick-film ZrO_2 oxygen sensor is sensitive to oxygen with high sensitivity and high selec-tive ability.
Keywords:ZrO_2 thick-film oxygen-sensitivity  
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