硅微型加速度计有限元模型与动态分析研究

由于硅微型加速度计高动态性能和特殊的制造工艺，在设计阶段必须对其进行详细的结构动态分析。本文建立了微加速度计三维有限元模型，分析计算了其基本模态，研究了其瞬间响应和响应谱等动态特性。