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正交线偏振激光器原理与应用(Ⅲ)--精密测量应用原理及技术基础研究
引用本文:张书练,杜文华,李岩,朱钧.正交线偏振激光器原理与应用(Ⅲ)--精密测量应用原理及技术基础研究[J].自然科学进展,2004,14(4):380-389.
作者姓名:张书练  杜文华  李岩  朱钧
作者单位:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
基金项目:国家自然科学基金(批准号:技85103, 68978018,59275237, 69286001,69778010,59775088,50127501, 60178010)、北京市自然科学基金(批准号:4922009,4992006,H010110250111)、国家教育部重点研究项目(批准号:GN-90)和清华大学基础研究基金(批准号:JZ2001007)资助项目
摘    要:综述了利用正交线偏振激光器内特性进行精密测量的研究成果,包括:①纳米激光器测尺(基于频率分裂的激光器两偏振光竞争位移传感激光器)测量原理,②基于频率分裂激光器两偏振光回馈的位移测量原理,③直接利用波片形成频率分裂的波片位相延迟测量原理,④基于频率分裂对腔内双折射强弱敏感性的位移测量原理,角度测量原理,振动测量原理,⑤压强测量原理,⑥磁场测量原理等. 所涉及现象包括:激光纵模间隔内新频率的产生,两频率之差的改变、光束的偏振特性的改变,模的竞争强度的改变等. 这些新应用的原理、结构简单,可溯源到光的波长. 如,激光器自身就是传感器的纳米激光器测尺已在应用中,测量范围12mm、分辨率79nm、线性度小于5×10-5. 波片位相延迟测量系统重复性达到0.3′.

关 键 词:正交偏振  位移测量  激光回馈  波片测量  角度测量  振动测量
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