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| TiO2:MgF2薄膜的湿敏特性 | |
| 引用本文： | 林永钟,李旦振. TiO2:MgF2薄膜的湿敏特性[J]. 山东科技大学学报(自然科学版), 2003, 22(Z1): 70-71 |
| 作者姓名： | 林永钟 李旦振 |
| 作者单位： | 1. 福建师范大学,物理与光电信息科技学院,福州,350007 2. 福州大学光催化研究所,福建,福州,350002 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(20273014);福建省教育厅重点项目(JAO21138) |
| 摘 要： | 采用真空镀膜技术制备了TiO2MgF2薄膜湿敏元件,仔细研究了薄膜湿敏元件的感湿特性.结果表明工作频率为100Hz时,该元件在全湿度范围内具有良好的阻抗-湿度特性,感湿特性曲线线性良好;元件具有灵敏度高,滞后小,响应快,长期稳定性好等优点. |
| 关 键 词： | 湿敏 薄膜 二氧化钛 |
| 文章编号： | 1672-3767(2003)Sup.-0070-02 |
The Humidity-sensitive Properties of TiO2:MgF2 Thin Film |
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