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| 直流磁控溅射—冷凝—原位加压制备纳米固体钼和氮化二钼 | |
| 作者姓名： | 朱勇 |
| 作者单位： | 中国科学院固体物理研究所 合肥230031 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
| 摘 要： | 纳米固体材料是由具有量子表面效应和体积效应的超微粒子构成的块状固体材料.是近年来出现的一个新的非常活跃的领域.本文介绍采用直流磁控溅射—冷凝—原位加压制备纳米固体钼和氮化二钼的部分实验结果.材料制备是在自行研制的 IAc-1型纳米固体材料制备设备上进行的,为辉光放电—冷凝—原位加压方法,包括:直流/射频磁控(反应)溅射、电阻加热辉光等离子体反应、 |
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