光波导器件边缘的高精度直线检测

为了在光波导器件对准中快速、准确地检测波导边缘直线,保证检测精度,提出一种高精度快速边缘直线检测方法。其步骤为:分析光波导器件对准的机器视觉系统及其精度要求;通过对耦合界面灰度分布的一阶导数进行拟合求峰值位置提取亚像素边缘点;基于RANSAC算法和OLS算法相结合的方法对提取的边缘进行高精度直线拟合,并以此计算波导的位姿参数。研究结果表明:本算法检测角度误差小于0.003?,距离误差小于0.1像素,运算时间小于0.5 s,能精确拟合带有破损、脏污等噪声因素的波导边缘,实现光波导器件边缘的高精度直线检测。