| 测量压电式微压传感器灵敏度的新方法 |
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| 引用本文： | 王丽坤,朱同淑,李书相,李光,张福学.测量压电式微压传感器灵敏度的新方法[J].世界知识,2006(2). |
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| 作者姓名： | 王丽坤 朱同淑 李书相 李光 张福学 |
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| 作者单位： | 北京信息工程学院传感技术研究中心 北京100101(王丽坤，李书相，李光，张福学)，北京邮电大学 北京100876(朱同淑) |
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| 基金项目： | 北京市自然科学基金资助项目(KZ200410772016)，北京市传感器重点实验室资助项目(200407022) |
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| 摘 要： | 研制了一套压电微压传感器的性能测量系统,它采用均匀声腔硅油介质中传播的声波作为压力源,标准传感器和被测传感器同时接收波动声压,比较两传感器的输出,测定被测传感器的灵敏度及频响。实验测试了3只压电式微压传感器,结果表明:传感器的灵敏度平均为3.0mV/Pa,工作频率为20~2 000Hz,灵敏度随频率波动小于0.5mV/Pa,灵敏度重复偏差小于0.24mV/Pa。
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| 关 键 词： | 压电 微压传感器 灵敏度 测试系统 |
Novel method used to measure sensitivity of piezoelectric micropressure sensor |
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| WANG Li-kun,ZHU Tong-shu,LI Shu-xiang,LI Guang,ZHANG Fu-xue.Novel method used to measure sensitivity of piezoelectric micropressure sensor[J].World Affairs,2006(2). |
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| Authors: | WANG Li-kun ZHU Tong-shu LI Shu-xiang LI Guang ZHANG Fu-xue |
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| Institution: | WANG Li-kun~1,ZHU Tong-shu~2,LI Shu-xiang~1,LI Guang~1,ZHANG Fu-xue~1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoelectricity micropressure sensor sensitivity measuring system |
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