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| 三维LPCVD计算机模拟 | |
| 引用本文： | 王季陶,张世理,王焕杰,连美华.三维LPCVD计算机模拟[J].自然杂志,1984(4). |
| 作者姓名： | 王季陶 张世理 王焕杰 连美华 |
| 作者单位： | 复旦大学 (王季陶，张世理，王焕杰)，复旦大学(连美华) |
| 摘 要： | 低压化学蒸汽淀积(LPCVD)薄膜技术发展很快,在集成电路、太阳能电池研制中占有重要地位,本文在一维LPCVD计算机模拟的基础上,进一步提出了三维模拟算式,以便 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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