| 脉冲激光沉积法在硅衬底上制备氧化锌薄膜 |
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| 引用本文： | 张志广,满宝元,薛成山.脉冲激光沉积法在硅衬底上制备氧化锌薄膜[J].山东师范大学学报(自然科学版),2006,21(2):51-52. |
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| 作者姓名： | 张志广 满宝元 薛成山 |
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| 作者单位： | 山东师范大学物理与电子科学学院,250014,济南 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划);山东省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 用脉冲激光沉积法（PLD）在n型Si（Ⅲ）面上生长了ZnO薄膜．采用X射线衍射分析、原子力显微镜分析、傅里叶红外吸收光谱和拉曼光谱技术，测试了ZnO薄膜的结构、表面形貌和振动特性．
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| 关 键 词： | 氧化锌薄膜 脉冲激光沉积 拉曼光谱 |
| 收稿时间： | 2006-02-26 |
| 修稿时间： | 2006-02-26 |
PREPARATION OF ZINC OXIDE FILMS ON SILICON SUBSTRATE BY PULSED LASER DEPOSITION |
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| Zhang Zhiguang,Man Baoyuan,Xue Chengshan.PREPARATION OF ZINC OXIDE FILMS ON SILICON SUBSTRATE BY PULSED LASER DEPOSITION[J].Journal of Shandong Normal University(Natural Science),2006,21(2):51-52. |
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| Authors: | Zhang Zhiguang Man Baoyuan Xue Chengshan |
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| Institution: | College of Physics and Electronics, Shandong Normal University, 250014, jinan, China |
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| Keywords: | ZnO thin films pulsed laser deposition Raman |
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