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| 第二代硅技术新浪潮 | |
| 引用本文： | 刘素英.第二代硅技术新浪潮[J].科技信息,1995(4). |
| 作者姓名： | 刘素英 |
| 摘 要： | 近10年来,微电子产业获得巨大发展,而且,今后会有更大发展前景——在跨世纪时代将成为支持新产业的中流砥柱。要维持微电子产业的发展,必须保证半导体材料中性能优异的金属材料的长期而稳定供给。20年来.硅在半导体电子学材料中占主导地位,而且正形成“锗——硅技术”浪潮。因此,了解该项技术的发展动向及其 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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