高精度温度控制的半导体制冷系统实验研究

为解决常规高精密环控系统温度波动大的问题,提出了1种高精度温度控制的半导体制冷系统。该系统基于半导体制冷技术,并结合直流变频压缩机恒温冷水机组。以专家比例-积分-微分(PID)控制方法和制冷量与电加热量双向趋近调节方式进行控制。试制了实验样机,对该系统的制冷性能、供水温度控制精度及系统抗干扰性能进行了实验研究。研究结果表明,系统供水温度波动范围为±0.01℃;开机启动至供水温稳定仅需16 min;2 kW负载瞬间冲击的响应时间为2 min,冲击结束后95%时间内系统供水温度的波动幅度仅为±0.005℃,且未发生超限和震荡现象。