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| 氧化锌薄膜的光电性能研究 | |
| 引用本文： | 吕灵燕.氧化锌薄膜的光电性能研究[J].海峡科学,2012(7):13-15. |
| 作者姓名： | 吕灵燕 |
| 作者单位： | 福建农林大学机电工程学院 |
| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法在ITO导电玻璃衬底上制备氧化锌(ZnO)薄膜,研究其结构、光学透过率和电学性能.AFM测试结果表明,ZnO薄膜晶粒尺寸随退火温度的提高而增大.薄膜的光学透过率曲线显示,在大于400nm的波段,ZnO的透过率比较高,而其禁带宽度约为3.25eV.在相同的电压下,ZnO薄膜产生的电流大小随着退火温度的提高,先增强后减弱,在550℃时达到最大. |
| 关 键 词： | 退火温度 ZnO薄膜 光学透过率 |
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