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| 一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针 | |
| 引用本文： | 卓永模,牟旭东,杨甬英.一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针[J].大连理工大学学报,1997(Z2). |
| 作者姓名： | 卓永模 牟旭东 杨甬英 |
| 作者单位： | 浙江大学光科系 |
| 摘 要： | 一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针卓永模牟旭东杨甬英（浙江大学光科系杭州３１００２８）本文论述一种微型干涉光探针，它可用于扫描力显微镜中探测微探针的纵向偏摆，进而精确测出样品表面三维超精细结构。论文从理论分析及实验研究中首次发现扫描力显微镜中的氮化... |
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