| 晶圆制造过程中动态瓶颈设备的实时调度 |
| |
| 引用本文： | 李晓红,周炳海. 晶圆制造过程中动态瓶颈设备的实时调度[J]. 上海交通大学学报, 2008, 42(4): 599-603 |
| |
| 作者姓名： | 李晓红 周炳海 |
| |
| 作者单位： | 上海交通大学,机械与动力工程学院,上海,200240;上海交通大学,机械与动力工程学院,上海,200240 |
| |
| 摘 要： | 提出了一种基于合弄机制的动态瓶颈实时调度算法.该算法通过实时检测瓶颈设备、辨别设备加工状态和在制品排队长度等实时信息来合理分配加工任务,并利用一组综合型启发式调度规则对半导体晶圆制造过程中动态出现的瓶颈设备实施有效控制.仿真结果表明,所提出的算法可以缩短生产周期,降低在制品水平和保证产品交货期的良好绩效.
|
| 关 键 词： | 晶圆制造 动态瓶颈 实时调度 合弄机制 |
| 文章编号： | 1006-2467(2008)04-0599-04 |
| 修稿时间： | 2007-04-18 |
Real-time Scheduling of Dynamic Bottleneck Facilities of Wafer Fabrication Processes |
| |
| LI Xiao-hong,ZHOU Bing-hai. Real-time Scheduling of Dynamic Bottleneck Facilities of Wafer Fabrication Processes[J]. Journal of Shanghai Jiaotong University, 2008, 42(4): 599-603 |
| |
| Authors: | LI Xiao-hong ZHOU Bing-hai |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
