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掺钇非晶硅膜的红外吸收谱
引用本文:张淑芝,吴斐斐.掺钇非晶硅膜的红外吸收谱[J].山东大学学报(自然科学版),1992,27(4):447-452.
作者姓名:张淑芝  吴斐斐
摘    要:

关 键 词:非晶硅  薄膜    红外吸收谱
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