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| 微纳机电系统(MEMS/NEMS)前沿 | |
| 引用本文： | 李志宏.微纳机电系统(MEMS/NEMS)前沿[J].中国科学:信息科学,2012(12):1599-1615. |
| 作者姓名： | 李志宏 |
| 作者单位： | 北京大学微电子学研究院 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)(批准号:2011CB707505)资助项目 |
| 摘 要： | 微纳机电系统(MEMS/NEMS)将处理热、光、磁、化学、生物等结构和器件通过微电子工艺及其他一些微加工工艺制作到芯片上,并通过与电路以及相互之间的集成来构筑复杂的微型系统.由于微纳机电系统具有高度的交叉性与渗透性,而使其研究和发展呈现出多样性.本文立足于微纳机电系统与集成电路的交叉,侧重讨论微纳机电系统与CMOS集成电路的集成、微纳机电系统技术与纳米技术的融合,以及与现代生物技术的交叉,就一些典型的器件与工艺,介绍一些前沿发展和趋势. |
| 关 键 词： | 微纳机电系统 单片集成 微电子 纳米技术 |
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