| 有机衬底Zn-Sn-O透明导电膜的低温制备及特性 |
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| 作者姓名： | 马瑾 黄树来 马洪磊 盖凌云 |
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| 作者单位： | 1. 山东大学物理与微电子学院,济南,250100
2. 莱阳农学院教育技术中心,莱阳,265200 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:60276044)，博士点基金(批准号20020422056) |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法在有机衬底PPA上低温制备出Zn-Sn-O透明导电膜, 并对薄膜的结构和光电性质进行了研究. 制备的薄膜为非晶结构, 薄膜与衬底有良好的附着性. 性能良好的有机衬底Zn-Sn-O透明导电膜的电阻率为1.3×10−2 Ω∙cm, 载流子浓度为4.4×1019 cm−3, Hall迁移率为12.4 cm2∙V−1∙s−1. 薄膜在可见光范围的平均透过率达到了82%.
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| 关 键 词： | Zn-Sn-O透明导电膜 射频磁控溅射 有机衬底 |
| 收稿时间： | 2003-05-12 |
| 修稿时间： | 2003-06-25 |
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