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SiC基HEMTs器件的沟道温度热仿真
作者姓名:侯宪春  吴云飞  董艳红
作者单位:佳木斯大学理学院
基金项目:佳木斯大学2012科学技术研究面上项目(L2012-046);佳木斯大学2011科学技术研究青年基金项目Lq2011-029
摘    要:GaN作为第三代半导体材料,具有大的禁带宽度,高的饱和速度以及非常高的漏电流密度,导致了AlGaN/GaN HEMTs器件在高温,高功率应用方面脱颖而出.本文通过使用有限元法,实现了在稳态条件下对高电子迁移率晶体管(HEMTs)的温度分布,得到了沟道温度随着沟道位置的不同而不同的变化图.通过仿真得到,在中心沟道处的温度最高,以及随着远离沟道中心,沟道温度将会减小的结论.

关 键 词:高电子迁移率晶体管  有限元法  沟道温度
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