| Sol-gel法制备Bi3.25La0.75Ti3O12铁电薄膜 |
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| 引用本文： | 郭冬云,李美亚,裴玲,于本方,吴庚柱,赵兴中,王耘波,于军.Sol-gel法制备Bi3.25La0.75Ti3O12铁电薄膜[J].中国科学(E辑),2007,37(1):7-11. |
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| 作者姓名： | 郭冬云 李美亚 裴玲 于本方 吴庚柱 赵兴中 王耘波 于军 |
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| 作者单位： | 武汉大学物理科学与技术学院 武汉430072(郭冬云，李美亚，裴玲，于本方，吴庚柱，赵兴中)，华中科技大学电子科学与技术系 武汉430074(王耘波，于军) |
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| 摘 要： | 采用Sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Bi3.25La0.75Ti3O12 (BLT)薄膜. 制备的BLT薄膜具有单一的钙钛矿晶格结构, 而且表面平整致密. 对700℃退火处理的BLT薄膜进行了铁电性能、疲劳特性和漏电流测试: 在测试电压为10 V时, 剩余极化值2Pr大约是18.6 μC/cm2, 矫顽电压2Vc大约为4.1 V; 经过1×1010次极化反转后, 剩余极化值下降了大约10%; 漏电流测试显示制备的BLT薄膜具有良好的绝缘性能. 室温下, 在测试频率1 kHz时, 薄膜的介电常数为176, 介电损耗为0.046.
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| 关 键 词： | Sol-gel法 铁电性能 疲劳特性 漏电流 Bi3.25La0.75Ti3O12薄膜 |
| 收稿时间： | 2006-08-30 |
| 修稿时间： | 2006-08-302006-09-29 |
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