| 法布里—泊罗标准具在精密测量中的应用 |
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| 引用本文： | 吕淑媛,张威虎,张富春.法布里—泊罗标准具在精密测量中的应用[J].延安大学学报(自然科学版),2009,28(2):48-51. |
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| 作者姓名： | 吕淑媛 张威虎 张富春 |
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| 作者单位： | 1. 西安邮电学院,电信系,陕西,西安,710021
2. 延安大学,物理与电子信息学院,陕西,延安,716000 |
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| 摘 要： | 根据最小二乘法原理,直接对法布里-泊罗标准具产生的干涉条纹进行拟合,在拟合过程中充分考虑了矩阵的病态条件,推导出光波波长与拟合方程系数间的关系.利用干涉条纹数字化方法求出了光波波长,这种方法克服了传统方法难以对准中心(圆心)和干涉条纹发生畸变时不能保证△r2恒为常量的缺陷.利用此方法可实现特殊形状工件的精密测量,提高测量精度.试验结果表明:系统对工件的测量精度可达到10 μm量级,并可实现大规模快速测量.
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| 关 键 词： | 法布里-泊罗标准具 最小二乘法 精密测量 |
Application of the Fabry-Perot Etalon in Precision Measurement |
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| Lv Shu-yuan,ZHANG Wei-hu,ZHANG Fu-chun.Application of the Fabry-Perot Etalon in Precision Measurement[J].Journal of Yan'an University(Natural Science Edition),2009,28(2):48-51. |
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| Authors: | Lv Shu-yuan ZHANG Wei-hu ZHANG Fu-chun |
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